作者:齐娜,付士民,王世宁,刘兴宇,陈丽洁 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2017年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2017060160 DOC编号:DOCCGQJ2017060169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 提出了一种基于微机电系统(MEMS)压力传感器阵列的浪涌检测技术。通过在压力作用区域内布放MEMS压力传感器阵列,从而获取各测试点上的压力值,对这些压力值进行处理得到相应区域的压力变化趋势。经MEMS压力传感器阵列检测实验系统验证表明:此设计方案能够准确检测到浪涌信号,分辨出浪涌的方向及幅值变化。

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