作者：高冬晖,秦明,程海洋,朱昊 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》2006年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ2006010210 DOC编号：DOCGTDZ2006010219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 给出了一种完全基于CM O S工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式，热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差，省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理，因此不存在速度量程问题；同时通过四周对称分布热堆的相对差分输出得到风向，风向的测试和风速无关。测试电路是由普通运放电路组成的控制和测试系统。经过风洞测试，风速的测量可以达到23m/s，风速分辨率达到0.5 m/s，风速的最大误差为0.5 m/s。传感器的反应时间为3~5秒，整个功率损耗约为500 mW。

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