作者：刘妤,温志渝,杨红韵,张流强 单位：中国力学学会;中国科学院力学所 出版：《》 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLXYS2006040150 DOC编号：DOCLXYS2006040159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解》PDF+DOC2003年第Z1期 刘妤,温志渝,张流强,梁玉前,温中泉,李霞 《复杂微结构偏轴刚度的求解》PDF+DOC2011年第02期 刘妤,郭长文,王国超 《灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究》PDF+DOC2015年第04期 李策,石云波,刘欣 《一款动车组用加速度传感器结构设计和仿真》PDF+DOC2019年第04期 弓海斌,冯庆鹏,顾忠辉,周冲 《叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解》PDF+DOC2000年第06期 何晓平,彭勃 《MEMS高g加速度传感器封装贴片技术的研究》PDF+DOC2011年第09期 郭涛,徐雁,李平 《MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析》PDF+DOC2011年第08期 赵锐,石云波,唐军,刘俊 《集装箱用电容式加速度传感器的热变形分析》PDF+DOC2013年第01期 吕海峰,彭小明,刘静 《新型双轴电容式加速度传感器设计》PDF+DOC2018年第02期 朱彬彬,王路文,汶飞,王高峰 《LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用》PDF+DOC2001年第12期 何友义

    • 微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数，但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器，提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度，并通过仿真分析验证了理论推导．理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性．该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析．

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