作者:何晓平,彭勃 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2000年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2000060080 DOC编号:DOCCGQJ2000060089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 采用结构力学的力法,建立了求解叉指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比,简化了推导过程,得到了便于微机计算的结论。

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