《MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析》PDF+DOC
作者:杨尊先,李昕欣
单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会
出版:《电子元件与材料》2006年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZAL2006010080
DOC编号:DOCDZAL2006010089
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《封装对高量程MEMS加速度传感器性能的影响》PDF+DOC2017年第07期 谌福华,高智浩,王明伟
《曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC2003年第02期 董健,李昕欣,王跃林,张鲲,宋朝晖
《MEMS在汽车电器电子技术中的应用现状与发展趋势》PDF+DOC2003年第05期 徐向阳,刘斌
《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC2010年第02期 杜晓强,吴柯锐
《MEMS惯性传感器可靠性试验方法研究》PDF+DOC2009年第06期 雷昕,谢劲松
《曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究》PDF+DOC2006年第09期 杨尊先,李昕欣,于映
《引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计》PDF+DOC2006年第07期 石云波,祁晓瑾,刘俊
《MEMS传感器的发展及其在煤矿井下的应用研究》PDF+DOC2014年第07期 李军,赵军
《2008~2013年加速度传感器市场的走势平稳,有望成为MEMS市场上最热门产品》PDF+DOC2009年第06期
《新型MEMS热流陀螺的制造》PDF+DOC2008年第02期 吕树海,徐淑静,徐永青,徐爱东,罗蓉,杨拥军
为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有振动渐突显,峰值电压增加;阻尼介质粘滞系数越大,其峰值电压越低;介质温度对器件输出特性影响不大。在常温空气介质中,过载保护曲面平移距离为0.5μm时,阻尼比为0.24,近临界阻尼,输出电压高达77.9mV。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。