作者:吕树海,徐淑静,徐永青,徐爱东,罗蓉,杨拥军 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2008年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2008020170 DOC编号:DOCCGJS2008020179 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • MEMS热流陀螺是一种基于热流体理论的新型陀螺。该器件利用封闭腔体内的气体作为敏感元件,代替了常规MEMS陀螺的复杂振动结构和悬挂质量块,具有抗大冲击、体积小、重量轻、成本低、可批量化生产等优点。本研究的目的是为了验证MEMS热流陀螺的可行性,主要介绍该器件的研制过程,包括流体场仿真和工艺实现。最后得到了MEMS热流陀螺及其输出曲线,测试结果很好地验证了基于热流体理论的MEMS热流陀螺的可行性。

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