作者：伦凤艳,张平,高福斌,贾宏光 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2006年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2006010150 DOC编号：DOCWXJS2006010159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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