作者:李伟东,吴学忠,李圣怡 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2006年第07期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2006070000 DOC编号:DOCYBJS2006070009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种硅微压阻式压力传感器的研究》PDF+DOC2012年第01期 刘珍妮,谭晓兰,杨峻松 《高温压力传感器的新进展——金刚石微压力传感器》PDF+DOC 莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中 《硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试》PDF+DOC2001年第04期 蒋庄德,赵玉龙 《压阻式压力传感器性能的研究》PDF+DOC2012年第02期 阎文静,张鉴,高香梅 《微压力传感器接口电路设计》PDF+DOC2011年第03期 李宇佳,王天鹏,张冲 《工艺偏差对压阻式硅微压力传感器性能的影响》PDF+DOC2010年第02期 冯立杰,马炳和,马志波,朱延波 《基于侧壁压阻式的位移传感器研制及应用》PDF+DOC2008年第08期 孙立宁,王家畴,荣伟彬,李欣昕 《硅微超微压传感器设计》PDF+DOC2007年第10期 邱峰,季霞 《基于硅微传感器的混合机桨叶状态无线测试系统》PDF+DOC2007年第Z1期 滕淑芬,钱政 《硅微微压传感器研究进展》PDF+DOC2006年第09期 夏文明,丁建宁,杨继昌
  • 微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的微加工工艺制定了制作这种微传感器的工艺流程并且制作成功了传感芯片。设计了一个处理电路去获得此传感器的输出信号,它由两级放大电路和两级巴特沃斯低通滤波电路组成。最后利用这个测试系统检测出了随压力变化而发生变化的微电压信号。

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