作者：朱平,杨卫 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2006年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2006120090 DOC编号：DOCBDTQ2006120099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 根据分形几何理论，用W-M函数表征压阻式加速度传感器固支梁的表面形貌，并且提出把分形参数D与传统统计参数Ra结合起来共同评定微观形貌质量。利用MSA-400-TPM2型白光干涉仪对其进行测量，通过实验验证。

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