作者：王巨锋,黄梅红,庄琳玲,刘士伟,胡奕彬,庄其仁 单位：天津理工大学 出版：《光电子·激光》2015年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDZJ2015030080 DOC编号：DOCGDZJ2015030089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种基于聚合物材料的新型微机电系统(MEMS)交流电传感器，对其关键部件聚合物MEMS磁扭转微镜的特性进行研究。磁扭转微镜基体材料采用聚碳酸酯(PC)，扭转梁采用金属材料制作，永磁体内置于扭转微镜中，被聚合物材料所包埋，磁扭转微镜的反射面为反射光栅结构。对扭转微镜的特征参数对扭转力矩和扭转角度的影响进行了分析。结果表明，磁扭转微镜的力矩与通电导线的电流大小成正比，微镜稳态扭转振动时最大扭转角度与导线交流电流(a.c.)幅度成正比；扭转梁长度越长，扭转角幅度越大；而稳态振动扭转角幅度随着扭转梁半径的增大而减小。通过对扭转微镜反射光栅0级衍射光的接收与解调，得到归一化光强测量电流的灵敏度可达0.024/A。

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