作者：吕红映,陈立新,王亚洲,张教强 单位：上海市合成树脂研究所 出版：《中国胶粘剂》2008年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXLJ2008110240 DOC编号：DOCGXLJ2008110249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 简述了聚合物先驱体转化陶瓷(PDC)法在制备陶瓷纤维、陶瓷涂层和陶瓷粘接等方面的应用，重点介绍了PDC法在微机电系统(MEMS)器件制造中的发展概况。耐高温MEMS的发展面临两大挑战：高温材料的选择和发展合适的微加工技术。指出了传统加工技术制备陶瓷MEMS的不足，着重介绍了PDC法制备陶瓷MEMS的优缺点。以国外采用PDC法制备陶瓷MEMS的几种典型器件为例，指出该方法在制备陶瓷MEMS器件中存在的问题和未来的发展方向。

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