作者：张耀林,桂晨阳,李响 单位：上海贝岭股份有限公司 出版：《集成电路应用》2018年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDL2018090130 DOC编号：DOCJCDL2018090139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究电容式一维矢量水听器，其内部采用一种基于MEMS技术制作的硅微电容式加速度传感器。叙述电容式矢量水听器的设计方法，分析内部振子的工作原理、结构及其动态特性。设计并制作了工作频带为20~900 Hz的电容式矢量水听器，其直径为45 mm、高为40 mm，矢量通道自由场声压灵敏度为-220 dB(不带前放，测试频率为800 Hz，0 dB=1 V/μPa)，具有“8”字形指向性。研究结果表明：基于MEMS技术的超微型传感器，可以成功地应用在电容式矢量水听器的设计当中。合理选择高灵敏度、宽频带的MEMS传感器，可以研制出小体积、高灵敏度的电容式矢量水听器。

    📙 相关资料

    1. 《同振式三轴向矢量水听器设计与实现》PDF+DOC 根据实际工程需要，设计、制作同振式三轴向矢量水听器，其外形为柱体两端带半球帽的圆柱体，声压通道和矢量通道在结构上结合为一体。矢量水听器外形尺寸为Φ54&#215；72 mm、工作频带为20 Hz~2 000 Hz。在国防科技工业水声一级计量站驻波管对研制的矢量水听器进行了测试，测试结果表明：......
    2. 《电容式微加速度传感器微结构的拓扑优化》PDF+DOC 采用均匀化方法，以电容式微加速度传感器微结构的第一阶谐振频率为目标函数，以微结构的体积作为约束条件，建立了微结构的拓扑优化模型，对叉指式微加速度传感器微结构进行了拓扑优化设计，经计算获得满足体积约束并使第一阶谐振频率最大的微结构拓扑形式。计算结果表明该方法可以很好地解决微加速度传感器灵敏度和谐振频率......
    3. 《MEMS型水听器的自噪声分析》PDF+DOC 针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象，以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论，给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真，得出了影响传感器自噪声的主要因素，给出了自噪声与谐振频率、质量块质量和机械Q值之间的关系。......
    4. 《微型电机系统在医疗中的应用》PDF+DOC 1.简介 MEMS(微型电机系统)自八十年应用于医疗业，在各种硅压力传感器、加速度传感器和微结构应用中发挥作用。MEMS器件与其他器件相比有许多优点，它的尺寸小，性能可靠，价格便宜。硅是MEMS器件结构加工的常用材料，用于生产硅电子元件的大多硅片加工设备可以用来生产硅传感器件。硅的弹性十分完美，它不......
    5. 《基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性，仔细地建立了它的力学模型。在此基础上，详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系，并结合实测参数验证......
    6. 《双向双感应惯性加速度传感器》PDF+DOC 美新半导体(无锡)有限公司采用亚微米CMOS 工艺，将机械感应部件与信号放大器集成在单个芯片上，研制成功全球性价比最高、体积最小的 X、Y 方向双感应的惯性加速度传感器。它具有高可靠性、高灵敏度、较大感应范围和响应频率及多种信号输出方式的特点，广泛...
    7. 《面向机械振动监测的无线传感器网络节点的设计》PDF+DOC 针对机械振动信号监测的特点和现有无线传感器网络节点的不足，提出了一种基于MEMS加速度传感器的无线传感器网络大容量测振节点的设计。节点采用了模块化的设计思想，主要包括AVR微控制器、可编程逻辑器件CPLD、多通道16位A/D转换器、SD卡存储器和MEMS传感器，初步解决机械振动信号采集和大容量存储的......
    8. 《硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)》PDF+DOC 设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器，并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明：该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致，线性度较好，交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/gn、55.6 mV/gn；......
    9. 《接触式电容微加速度传感器的设计与分析(英文)》PDF+DOC 设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构，建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型，并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。...
    10. 《适用于电容式MEMS传感器的微小电容检测系统》PDF+DOC 针对电容式微机械陀螺测量困难的问题，设计了基于电容检测芯片AD7747和STM21F405单片机组合的微小电容检测系统。该系统主要包括I2C数据通信模块、串口通信模块、Flash存储模块以及单片机控制模块。最后通过实验来对其性能进行测试可得，该系统能够实现对微小电容的精确测量，分辨率可达1.6 fF......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。