作者：王宇,张晓明,白渚铨,赵鑫炉 单位：华北计算机系统工程研究所 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJY2014050370 DOC编号：DOCDZJY2014050379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对电容式微机械陀螺测量困难的问题，设计了基于电容检测芯片AD7747和STM21F405单片机组合的微小电容检测系统。该系统主要包括I2C数据通信模块、串口通信模块、Flash存储模块以及单片机控制模块。最后通过实验来对其性能进行测试可得，该系统能够实现对微小电容的精确测量，分辨率可达1.6 fF，能够满足对电容式MEMS器件微弱信号的检测。

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