《电容式微加速度传感器微结构的拓扑优化》PDF+DOC

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2. 《一种低噪声MEMS电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC 基于差分电容原理和MEMS技术，设计了一种低噪声MEMS电容式加速度传感器。该加速度传感器包括一个敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路相结合，制作出加速度传感器。利用MEMS技术制作的微结构封装的加速度传感器经过测试，验证了该传感器具有高灵敏度，......
3. 《高量程加速度计的力学性能分析》PDF+DOC 提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ，当梁与质量块的厚度比变得较大时 ，梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比 ，偏差由 90 %......
4. 《微机械双轴电容式加速度传感器设计》PDF+DOC 设计一款机械噪声较小、灵敏度较高的双轴电容式加速度传感器，其具有4个水平检测单元，X、Y轴向的检测单元各有两组，且水平对称，有效地消除了轴间的交叉干扰；结构中的保护限位装置避免了结构因加速度值过大而断裂失效和结构测量的不准确。该加速度敏感质量块的大小为3 250μm&#215；3 250μm......
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6. 《新型双轴电容式微加速度传感器优化设计研究》PDF+DOC 将ＩＣ工艺与ＬＩＧＡ工艺结合，在硅基上用镍材料制作高精度电容式双轴微加速度传感器。根据力学原理并结合所采用的工艺特点，对该器件结构进行优化设计，获得了较好的器件性能参数。结果表明，器件的静态电容为２．６ｐＦ，量程达&#177；５ｇ。该加速度传感器可同时测量Ｘ，Ｙ方向的加速度，最小可测量加速度......
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9. 《电容式微加速度传感器信号处理电路的设计》PDF+DOC 介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路，可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度.该电路采用电荷敏感原理，能较好地消除寄生电容的影响.同时电路工作于闭环模式，具有稳定的工作特性.实验结果表明该电路不仅能很好的消除外部环境噪声的干扰，同时提高了传感器的整体性能。...
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