作者：沈岩柏,范安锋,张宝庆,曹先敏,魏德洲,刘文刚,高淑玲 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》2015年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL2015070260 DOC编号：DOCGNCL2015070269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用直流反应磁控溅射法，在室温条件下通过改变放电气体压强制备出具有不同膜密度的WO3薄膜。结构表征结果表明，由单斜晶WO3纳米颗粒组成的薄膜具有层状结构，随着放电气体压强的增加，膜密度呈下降趋势。气敏特性研究结果表明，由WO3薄膜制备而成的气体传感器在工作温度为200℃时获得对NO2气体的最大灵敏度，并在50~300℃的工作温度范围内对NO2气体均展现出良好的气敏特性。在相同的检测条件下，气体灵敏度随着膜密度的减少而增加。

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