作者：方亮,彭丽萍,杨小飞,黄秋柳,周科,吴芳,刘高斌,马勇 单位：重庆大学 出版：《重庆大学学报》2009年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFIVE2009090050 DOC编号：DOCFIVE2009090059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上成功制备了In掺杂的ZnO(ZnO∶In)薄膜。X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)的研究结果显示所制备的ZnO∶In为纤锌矿的多晶薄膜，具有高度C轴择优取向。气敏研究结果表明ZnO∶In薄膜对NO2气体有较强的敏感性，最佳工作温度为273℃，其敏感度与薄膜的厚度和NO2气体的体积分数有关。ZnO∶In薄膜对较高体积分数的NO2气体的灵敏度较高，而薄膜比厚膜的灵敏度高，厚度为90 nm的薄膜在273℃时对体积分数为2&#215；10-5的NO2气体的敏感度高达16，表明ZnO∶In薄膜具有检测较低体积分数NO2的能力。

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