作者:陈晓杰 单位:河北省科学技术协会 出版:《产业与科技论坛》2014年第13期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCYYT2014130290 DOC编号:DOCCYYT2014130299 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《薄膜压电性能的测量方法》PDF+DOC1999年第03期 包定华,张良莹,姚熹 《PVDF压电薄膜传感器的制作》PDF+DOC 韩莉莉 《粘接层对PVDF换能器性能影响研究》PDF+DOC2016年第08期 俞晓霞,曹永刚,王月兵,郑慧峰 《基于PVDF的高压电性薄膜制备工艺研究》PDF+DOC2019年第10期 陈宝成,覃双,张旭,孙权,张鹏 《压电微悬臂在原子力显微镜中的应用》PDF+DOC1998年第04期 包定华,张良莹,姚熹 《高分子薄膜敏感材料——聚偏氟乙烯(PVDF)》PDF+DOC1988年第02期 吴琼 《PZT压电薄膜在微传感器中的应用》PDF+DOC2003年第12期 杨冰,杨银堂,李跃进 《微型硅基弯曲板波器件》PDF+DOC2012年第04期 李新,刘梦伟,薛明鑫 《金属薄膜厚度测量技术分析》PDF+DOC2020年第07期 李加福,朱小平,杜华,王凯,赵沫 《皮米级分辨率测量及细分技术进程》PDF+DOC2010年第S1期 汤善治,王昭,蒋志雄,郭俊杰
  • 压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视。薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同。本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法,包括:激光干涉仪法,扫描探针显微镜法,垂直加载法等,并比较了这些方法的优缺点。

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