《薄膜压电性能的测量方法》PDF+DOC
作者:陈晓杰
单位:河北省科学技术协会
出版:《产业与科技论坛》2014年第13期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCYYT2014130290
DOC编号:DOCCYYT2014130299
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压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视。薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同。本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法,包括:激光干涉仪法,扫描探针显微镜法,垂直加载法等,并比较了这些方法的优缺点。
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