作者:樊建勋 单位:中国电子学会 出版:《电子技术与软件工程》2014年第04期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZRU2014042210 DOC编号:DOCDZRU2014042219 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微电子机械系统)一般指1μm~100μm的系统,是一种以半导体制造技术为基础的多学科交叉的前沿高新技术。MEMS传感器具有小型化、多功能、低成本、高可靠性的特点。由于航空工业对器件功能密度,可靠性等要求较高,这使MEMS传感器技术在航空领域得到广泛应用,同时也极大地促进了航空技术的发展。

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