作者：何斌,蔡蜜,王昆 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014030230 DOC编号：DOCCGQJ2014030239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种L型的二维微力传感器，该二维微力传感器采用悬臂梁式结构。在弹性力学和材料力学基础上，利用Solidworks三维建模软件和ANSYS仿真软件对传感器分别进行模型建立和有限元应变分析。对该二维微力传感器的实体进行标定，得出了力和输出电压之间的关系。然后，在设计与分析二维微力传感器的基础上，研制了二维微力传感器阵列测试系统。最后，在测试系统实施了不同预压力下的湿吸力测试试验，验证了传感器和系统的可靠性。

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