作者：蒋圣伟,师帅,袁娇娇,方靖,徐春林,汪学方 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014050320 DOC编号：DOCCGQJ2014050329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种适用于纳机电系统(NEMS)的悬浮石墨烯压力传感器，并结合传统微机械加工工艺提出了压力传感器的制造过程。利用拉曼光谱表征了机械剥离法得到的不同厚度的石墨烯薄膜，验证了石墨烯“G”峰与“2D”峰的强度与薄膜厚度有关。基于薄膜膨胀试验方法，给出了悬浮于矩形、方形与圆形3种空腔的石墨烯薄膜的最大变形与压差的关系，并分别计算了3种形状下薄膜的压力灵敏度，可知矩形情况下单层石墨烯薄膜的压力灵敏度最大，当矩形宽度、方形边长或圆形直径越大，薄膜厚度越小时，压力灵敏度越高，计算表明：这种压力传感器具有高灵敏度。

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