《半导体压力传感器的开发动向》PDF+DOC

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2. 《具有500倍保护的单晶硅压力传感器》PDF+DOC 具有单晶硅薄膜的标准压阻硅压力传感器通常在不到满量程10倍的压力下损坏，通过采用在薄膜正下方加上停止面，我们制造了具有500倍过量程保护的传感器.这些传感器完全由单晶硅采用硅键合技术形成.在低的压力下，芯片灵敏度高达3mv/m/psi，设计成在10psi时输出100mv的传感器在过压力达5000ps......
3. 《多晶硅压阻式压力传感器》PDF+DOC 本文叙述一种新型的压力传感器——多晶硅压阻式压力传感器。这种传感器以单晶硅为衬底材料，多晶硅电阻条构成惠斯通桥路，二者之间用介质隔离。器件的背面通过对单晶硅的腐蚀制成应力腔。与单晶硅器件相比，这种器件最突出的优点是不用pn结隔离，因而可把工作温限由130℃提高到200℃。通过对多晶硅生长条件及掺杂的......
4. 《半导体压力传感器》PDF+DOC 江宁机械厂生产的SF压力传感器适用于精确测量流体压力，并且能精确反映流体压力的电讯号。该传感器利用单晶硅的极为显著的压阻效应，同时采用先进的半导体平面集成制作...
5. 《新型传感器讲座 第二讲 新颖半导体力敏传感器》PDF+DOC 力敏器件，主要是指用来测量力、压力、速度、加速度、位移、振动等物理量的敏感器件.因这些测量都与机械应力相关，所以通称为力敏器件，并把封装成为一个整体的称为力敏传感器. 人们对力敏器件的研究已有悠久的历史，经过几十年的发展，已奠定了雄厚的技术和工业基础.但随着近几年现代信息科学的迅猛发展，特别是大规模......
6. 《半导体压力传感器的特性及应用》PDF+DOC 目前出现了这样一种趋势：将半导体压力传感器，尽可能地应用于工业用现场测量仪器上。由于电子技术的发展，即使在苛刻的环境中也能充分发挥半导体压力传感器所具有的良好特性，同时，现场测量仪器生产技术的提高，使上述这种过程是可能的。半导体压力传感器是靠本身将...
7. 《SOI高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍了SOI压力传感器的制作工艺，并且通过有限元软件对传感器输出特性进行模拟，模拟结果与实际测得结果是相符的。对SOI压力传感器测量结果表明，当温度增加到220℃传感器仍然能保持很好线性。另外对SOI压力传感器和多晶硅压力传感器进行比较，发现单晶硅SOI高温压力传感器灵敏度比多晶硅高温压力传感器灵敏......
8. 《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC 提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径，根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡，开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSYS软件进行敏感结构的仿真和设计，解决了SiC压力传感器加工工艺中......
9. 《汽车机油压力传感器》PDF+DOC 本项目采用厚膜力敏传感器技术和信号处理技术，开发汽车机油压力传感器。该传感器具有耐高温、耐腐蚀、无触点、能与数字化仪表相匹配、寿命长、性能价格比高等特点。该产品可以替代国内的滑线式油压传感器。...
10. 《一种谐振式MEMS压力传感器单芯片级真空封装和低应力组装方法》PDF+DOC 为提高谐振式MEMS压力传感器的品质因数，且同时降低温度漂移，设计了一种传感器的单芯片级真空封装和低应力组装方法，选用非光敏苯并环丁烯(BCB)材料在真空加热、加压条件下实现PYREX 7740玻璃空腔与传感器芯片的黏合键合，在可伐合金管座上加工出与传感器尺寸相匹配的方形空腔，实现传感器芯片的低应力......