作者:周勇,李超,宋阳,蒋书文 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2014年第10期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2014100350 DOC编号:DOCYBJS2014100359 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采用射频磁控溅射法在镍基高温合金拉伸件上制备Pd-Cr薄膜应变计。研究了800℃大气退火对Pd-Cr薄膜结构、表面形貌、方块电阻的影响,并且测试了Pd-Cr薄膜应变计的电学及应变性能。结果表明:Pd-Cr薄膜是一种结构为面心立方的单相材料。800℃大气退火后,Pd-Cr薄膜表面生成一层致密的Cr2O3,且薄膜方阻减小。在20~400℃范围内,应变计电阻同温度呈线性变化,电阻温度系数(TCR)约为230~260 ppm/℃。室温和300℃下的灵敏系数(GF)分别为1.97和2.63。

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