作者：滕林,杨邦朝,杜晓松,周鸿仁 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2004年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2004060190 DOC编号：DOCZKKX2004060199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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