作者：马可贞,李明慧,赵宇,郭泽彬,闫树斌,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014050190 DOC编号：DOCCGQJ2014050199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对基于光弹效应的集成光学微腔悬臂梁式加速度计难以同时实现高灵敏度和高抗冲击性的问题，提出增加光学微腔周长的方案。经过详细的理论分析得出：通过增加微腔周长可以有效地增加惯性力下微腔谐振点波长偏移量，提高探测灵敏度。设计了多回路长直跑道型微腔结构，在100μm&#215；600μm悬臂梁区域内集成出周长达5297μm的硅微谐振腔。利用MEMS工艺制作出所设计的微腔结构，测试品质因数达105。该结构应用于加速度等传感器中，在不减小传感器抗冲击性和量程的前提下，能有效提高探测灵敏度。

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