作者:李莉萍 单位:中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版:《计测技术》2013年第04期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHKJC2013040140 DOC编号:DOCHKJC2013040149 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 随着纳米技术的重要性日益凸显,需要精确测量小力值的情况也越来越多。由德国联邦物理技术研究院(PTB)研发的纳米传感器具有下述优点:通过各个不同组件的巧妙安排,该装置将传动装置和传感器集于一体。也就是说,它能测量的最小力值为nN级,同时,它能检测到nm级的偏差。由于可以使用相对容易的光刻法进行

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