作者：杨芳,刘琦,王新锋,官德斌 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017040230 DOC编号：DOCCGJS2017040239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计开发了一种基于MEMS技术的多通道氢气传感器系统，利用LabVIEW虚拟仪器平台对传感变送信号进行采集、存储、处理和数据分析。敏感材料分别选用n型半导体和p型半导体共6种掺杂金属氧化物，传感器件采用平面光刻及硅微加工工艺，集成了加热、测温及敏感等功能，功耗小于20 m W；传感器系统可实现0~1%范围内氢气的检测，且适用于常量氧及低氧条件下的氢气检测，有望在航空航天、国防领域及公共安全等方面得到广泛应用。

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