作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2013年第07期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2013070130 DOC编号：DOCCGSJ2013070139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 从事加速度、角速度及力度传感器开发的日本Wacoh公司开发出了只需要3块掩模即可制造的3轴加速度及3轴角速度(动作)传感器，而通常制造这类传感器时要使用10多块掩模。Wacoh公司虽未公布实现技术的详细内容，但表示能使售价降至民用传感器的一半以下。在惯性传感器市场，智能手机成为一大推动力，如果能以低价产品提供，市场便有

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