《高温压力传感器现状与展望》PDF+DOC
作者:张为,姚素英,张生才,刘艳艳,曲宏伟
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2002年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2002040020
DOC编号:DOCYBJS2002040029
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论述了多晶硅、SOI(绝缘体上硅 )、碳化硅、SOS(蓝宝石上硅 )、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光纤等高温压力传感器的基本结构、工作原理、特点及研究现状 ,展望了压力传感器的未来。
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