作者：张书玉,张维连,索开南,牛新环,张生才,姚素英 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006040130 DOC编号：DOCCGJS2006040139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种SOI高温压力传感器敏感芯片》PDF+DOC2014年第04期 王伟,梁庭,李赛男,洪应平,葛冰儿,郑庭丽,贾平岗,熊继军 《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC2015年第09期 李丹丹,梁庭,李赛男,姚宗,熊继军 《一种新型单晶硅SOI高温压力传感器》PDF+DOC2002年第04期 李育刚,姚素英,张生才,赵毅强,张为,张维新 《多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器》PDF+DOC2009年第09期 王健,揣荣岩,何晓宇,刘伟,张大为 《高温压力传感器现状与展望》PDF+DOC2002年第04期 张为,姚素英,张生才,刘艳艳,曲宏伟 《MEMS高温压力传感器研究与进展》PDF+DOC2009年第11期 张冬至,胡国清,陈昌伟 《谐振式MEMS压力传感器的设计与分析》PDF+DOC2019年第12期 许高斌,胡海霖,徐枝蕃,陈兴,马渊明 《C型压力传感器的设计》PDF+DOC1995年第01期 牛德芳 《具有500倍过压保护能力的单晶硅压力传感器》PDF+DOC1991年第01期 牟军 《高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术》PDF+DOC2002年第02期 曲宏伟,姚素英,张生才,赵毅强,张为

    • 介绍了SOI压力传感器的制作工艺，并且通过有限元软件对传感器输出特性进行模拟，模拟结果与实际测得结果是相符的。对SOI压力传感器测量结果表明，当温度增加到220℃传感器仍然能保持很好线性。另外对SOI压力传感器和多晶硅压力传感器进行比较，发现单晶硅SOI高温压力传感器灵敏度比多晶硅高温压力传感器灵敏度有较大提高。

    📙 相关资料

    1. 《一种SOI高温压力传感器敏感芯片》PDF+DOC 从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计，计算出每个因素所造成的影响并与外部气压对传感器造成的影响进行对比，并给出了压阻的工艺尺寸和掺杂浓度。通过工艺制备和封装，研制出耐高温压力传感器芯片，常温压力测试结果表明传感器敏感芯片在常温下灵敏度较高，非线性......
    2. 《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC 利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散，刻蚀，氧化，金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片，并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔，最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试，高温压力测试结果表明，在21℃(常温)至300℃的温度......
    3. 《一种新型单晶硅SOI高温压力传感器》PDF+DOC 单晶硅 SOI高温压力传感器是一种新型高性能高温压力传感器。它与扩散硅压力传感器相比有较高的工作温度 ，与多晶硅高温压力传感器相比有更高的工作灵敏度。这主要得益于它采用了单晶硅膜的 SOI结构。本文给出了这种压力传感器的工艺生产过程 ，并相对深入地讨论了各向异性腐蚀硅杯和静电封接这两道工序。介绍了此......
    4. 《多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器》PDF+DOC 多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用，文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构，并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化。依据优化设计结果试制了压力传感器......
    5. 《高温压力传感器现状与展望》PDF+DOC 论述了多晶硅、SOI(绝缘体上硅 )、碳化硅、SOS(蓝宝石上硅 )、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光纤等高温压力传感器的基本结构、工作原理、特点及研究现状 ，展望了压力传感器的未来。...
    6. 《MEMS高温压力传感器研究与进展》PDF+DOC MEMS高温压力传感器随着新型半导体材料和加工工艺的不断深入研究而迅速发展，近年来这一研究方向涌现出不少研究成果。对国内外具有主导影响的多晶硅、SOI、SOS、金刚石薄膜、SiC、电容式、声表面波、光纤式等几类耐高温压力传感器的研究进展、技术关键及应用情况等做回顾论述，并针对各自的主要优缺点进行对比......
    7. 《谐振式MEMS压力传感器的设计与分析》PDF+DOC 提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器，该器件采取面内动平衡的振动模式，为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了悬置扭转结构。根据对传感器数学模型的分析与建立，并利用MEMS有限元仿真软件对传感器在0～120 kPa范围以及全范围过压1.5倍下进行模拟分析与......
    8. 《C型压力传感器的设计》PDF+DOC 介绍一种Ｃ型压阻式压力敏感元件与结构的设计方法。...
    9. 《具有500倍过压保护能力的单晶硅压力传感器》PDF+DOC 典型的具有单晶硅膜片的普通硅压阻式压力传感器，通常压力要限定在远小于10倍满量程压力以下。而我们制造了一批传感器，它在膜片下使用一个静止的表面，可使传感器耐受了大于500倍以上的满量程压力。这些传感器采用单晶硅材料，用烧结工艺制成。在低压下硅芯片的灵敏度可高达3mV/V&#183；psi(3......
    10. 《高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术》PDF+DOC 本文在分析、测试多晶硅高温压力传感器温度特性的基础上 ，提出了一种新的改善传感器温度特性的措施。通过在压力传感器芯片上集成低阻值的多晶硅电阻网络与温度传感器 ，不仅可以很好的补偿传感器的零点温漂 ，也可以借助传感器信号处理单元 ，方便地实现对灵敏度温度系数的补偿。经补偿 ，传感器的零点温漂达到 1&......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。