作者：吴登峰,邬玉亭,褚家如 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2002年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2002110010 DOC编号：DOCCGQJ2002110019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展 ，综述了微传感器对阳极键合的新需求 ，展望了阳极键合技术在传感器领域的应用前景。

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