作者：崔晶,张锦涛,宋婷,楚中毅 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2019年第11期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2019110160 DOC编号：DOCGXJM2019110169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对传统的电容式触觉传感器因存在信号耦合测量，导致切向灵敏度远低于法向灵敏度的问题，基于多层电容结构，设计了一种三轴力解耦测量的高灵敏触觉传感器。传感器分为切向和法向测量单元，切向测量单元采用对称分布的差分式指状结构保证切向高灵敏测量，并结合超薄弹性硅胶介质，提高切向介质层有效压缩刚度，以抑制法向信号的耦合干扰；法向测量单元的介质层采用一种弹性稀疏网状微结构，用于法向高灵敏测量，并通过拓展法向接地极消除切向信号的耦合干扰。在对电容结构参数化设计的基础上，完成触觉传感器的制备，并搭建三轴力测试系统进行测试。结果显示，传感器的切向X，Y以及法向的测量灵敏度为0.206pF/N，0.251pF/N，0.148pF/N；切向X-Y以及切向-法向之间的最大静态耦合比分别为7.636%，1.051%。本传感器实现了三轴力的解耦测量及切向、法向相同量级的高灵敏特性。

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