《薄膜压力传感器的研究进展》PDF+DOC

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2. 《薄膜压力传感器在散堆粮实仓中的应用》PDF+DOC 金属箔式应变片以制作方便、价格便宜、使用简单、测量可靠等特点而广泛用于工程结构或部件的应变测量及制造各种物理量传感器，特别是在测力、称重传感器和压力传感器等领域尤为明显。文章利用金属箔式应变片制作的薄膜压力传感器对散堆粮实仓底部压力进行测定，旨在分析薄膜压力传感器在散堆粮实仓中测试满仓仓底压力是否具......
3. 《薄膜压力传感器(FSR)曲面土压力测量研究》PDF+DOC 岩土工程现场及室内模型试验中常用刚性土压力盒测量土压力，但传统刚性土压力盒(SPC)由于隔膜下陷、“嵌入”效应、不能完全贴合测量表面、需要较大的埋设空间等自身局限性，在测量例如桩或埋地管道等弯曲表面土压力时并不适用。基于薄膜压力传感器(FSR)的特点设计了测量电路和标定装置，分析了标定特性，并初步探......
4. 《基于故障树分析的薄膜压力传感器可靠性》PDF+DOC 本文简要介绍了故障树分析法的基本概念和分析步骤，并将其应用于薄膜压力传感器的可靠性研究。通过统计配套产品失效案例，对传感器芯体、信号处理电路、产品结构等因素导致传感器故障原因进行分析，得出压力传感器失效故障树，为薄膜压力传感器的可靠性研究提供了科学依据。...
5. 《溅射薄膜压敏芯体长期稳定性研究》PDF+DOC 溅射薄膜压敏芯体是制作薄膜压力传感器的核心敏感器件，测量精度高、长期稳定性好，尤其适合航天、航空等对可靠性、长寿命要求高的军事领域应用。对薄膜压敏芯体制备工艺过程进行分析，探讨影响芯体长期稳定性的原因，针对原因进行工艺改进，可获得高稳定的薄膜压敏芯体。...
6. 《高精度薄膜压力传感器的研制》PDF+DOC 从理论上分析了薄膜压力传感器误差产生的原因，针对封闭全桥的热零点漂移和热灵敏度漂移采取了不同的方法进行补偿。在某一桥臂上并联温敏电阻补偿热零点漂移；在恒压源产生电路中接入温敏电阻调节恒压源的温度系数以补偿热灵敏度漂移。温敏电阻均采用离子束溅射工艺制作在压力敏感芯片上。给出了各个电阻的计算公式和选取原......
7. 《微量程合金薄膜压力传感器》PDF+DOC 采用C型和E型整体平膜片结构，制作了0.1～60MPa量程范围的合金薄膜压力传感器.为实现0.1MPa以下低微压力的测量，提出了新颖的EI型力学结构.本文叙述了该结构的工作原理、设计依据、以及应用微细加工技术的工艺特点。...
8. 《薄膜压力传感器的设计和试验》PDF+DOC 本文介绍了为研究燃料元件裂变气体在堆内辐照中的释放行为而设计的薄膜压力传感器。堆外试验和在高通量工程试验反应堆(HFETR)内的辐照试验结果表明，在辐照到快中子积分通量1.4&#215；10~(20)N/cm~2(E&gt；0.625eV)时，其测量误差在&#177；1.4%......
9. 《合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展》PDF+DOC 综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况。合金敏感薄膜电阻在应变压力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点，使压力传感器结构更精细，性能更优越，适应各种恶劣环境测量压力的要求。...
10. 《灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制》PDF+DOC 溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点，但是由于受弹性体材料自身特性的影响，传感器的灵敏度温度误差大，大约在1.5&#215；10-4~2&#215；10-4/F.S℃，是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻，使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电......