《溅射薄膜压敏芯体长期稳定性研究》PDF+DOC
作者:何迎辉,石慧杰,金忠,谢锋,周国方
单位:中国电子科技集团公司第二研究所
出版:《电子工艺技术》2020年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZGY2020040100
DOC编号:DOCDZGY2020040109
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溅射薄膜压敏芯体是制作薄膜压力传感器的核心敏感器件,测量精度高、长期稳定性好,尤其适合航天、航空等对可靠性、长寿命要求高的军事领域应用。对薄膜压敏芯体制备工艺过程进行分析,探讨影响芯体长期稳定性的原因,针对原因进行工艺改进,可获得高稳定的薄膜压敏芯体。
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