作者：于婷婷,孙珂,裴彬彬,陈建中,钟朋,杨恒 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2020年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2020040030 DOC编号：DOCCGJS2020040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 触觉传感器在脉搏波测量、仿生机器人等领域有重要应用。该方案制作背接触式传感器，并通过转移工艺实现芯片加工和圆片级芯片尺寸封装一体化，用组装工艺低成本实现大面积柔性触觉阵列；采用模块化设计，正压力与剪切力传感单元的尺寸和布线相同，制作可组装的标准单元；在传感器转移工艺中，采用无电极化学腐蚀自停止工艺，提高成品率。传感单元尺寸仅为300μm&#215；300μm，与人类触觉传感的极限可比拟，灵敏度为2 mV/10 kPa，量程为150 kPa，已用于研制新型脉诊仪的柔性传感阵列，实现了脉搏波的实时测量。

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