作者：宋金龙,何常德,王任鑫,薛晨阳,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019020060 DOC编号：DOCBDTQ2019020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器》PDF+DOC2004年第S2期 武宇,赵湛,方震,张博军 《探空集成传感器设计》PDF+DOC2003年第Z1期 武宇,方震,赵湛,陈超,张博军 《煤矿大型设备在线监测与故障诊断系统的研究》PDF+DOC2019年第01期 申湛仙 《调频型温度传感器的线性化》PDF+DOC1978年第03期 吴葆仁 《一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器》PDF+DOC2007年第08期 徐敬波,赵玉龙,蒋庄德,孙剑 《区域自动气象站温度传感器检定方法》PDF+DOC2011年第05期 王强,乐羲,龙锦屏 《带有温度检测的声表面波气体传感器》PDF+DOC2011年第02期 田爽,郝淑娟,赵军发,赵启大 《智能温控表的设计》PDF+DOC2015年第07期 黄彩霞,齐晶晶,王立鑫 《热电偶检定系统的研究》PDF+DOC 邸嘉欣,栾哲江,刘浩文 《谐波分析及交流比较的高空温度探测方法研究》PDF+DOC2014年第04期 罗毅,施云波,渠立亮,汪亚东,孟上九

    • 为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求，设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和边框组成，惯性质量块通过八个梁悬挂在边框上。为了减小集成传感器的面积，铂电阻温度传感器的形状为“蛇”形。对所设计的多参量微纳传感器进行了流片加工和性能测试，铂电阻温度传感器的灵敏度为1.04 mV/℃，量程为-20～80℃，振动传感器的灵敏度为49.89 mV/g，灵敏度幅值线性度为-0.33%，量程为50g。实验结果表明，研制的多参量微纳集成传感器满足对振动和温度信号测量的需求。

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