作者：张韬杰,江毅,马维一 单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《激光与光电子学进展》2019年第17期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGDJ2019170260 DOC编号：DOCJGDJ2019170269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出并通过实验研究了一种高精细度微机电系统(MEMS)光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器基于MEMS技术，将硅片与Pyrex#7740玻璃片阳极键合并镀上高反介质膜构成一个高精细度的F-P腔。当外界压力发生变化时，F-P腔长会发生变化；采用高灵敏度光纤白光干涉测量技术，通过测量F-P腔长就可获得被测压力。实验结果表明，该传感器压力测量分辨率高，线性度高，并具有低温漂特性。

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