《高精度硅谐振压力传感器》PDF+DOC
作者:
单位:中国航天系统科学与工程研究院
出版:《军民两用技术与产品》2019年第05期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHTJM2019050220
DOC编号:DOCHTJM2019050229
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《数字补偿技术在高精度压力变送器中的应用》PDF+DOC1999年第09期 徐继红
《光激励微型硅谐振器研究》PDF+DOC1998年第05期 高金山,王家桢,童诗白
《DPharpEJA系列智能变送器的应用》PDF+DOC1996年第06期 胥浩伟
《高精度力传感器的研究》PDF+DOC1990年第02期 车军,高军,蒋炳军
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《应变式高精度测力传感器》PDF+DOC1984年第01期 宋文敏
《电涡流传感器温漂的综合补偿》PDF+DOC2004年第10期 杜保强,叶会英
《高精度压力传感器中温度补偿技术研究》PDF+DOC2011年第06期 卞金洪,王吉林,周锋
《基于INA333和XTR115的压力变送器》PDF+DOC2014年第02期 李纯,湛华海,程静贤
《基于压力传感器的高精度液位测量及控制器设计》PDF+DOC2013年第07期 陈利君
技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述高精度压力传感器采用先进的换能机制,利用单晶硅的良好机械特性,将压力的作用应力转化为机械部件的固有频率并输出。该传感器主要采用以下几项技术:(1)采用基于双谐振器的原位温度自补偿技术,有效解决了传感器的温度漂移问题,实现了全温区0.01%FS精度等级;
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