《传感器的微机械加工中各向异性腐蚀过程的计算机模拟》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《压力传感器中的各向异性腐蚀技术》PDF+DOC 研究了半导体压阻式压力传感器制作中的关键工艺———硅各向异性腐蚀.采用两种腐蚀液：m(TMAH)∶V(H2O)=50g∶50ml和m(KOH)∶V(IPA)∶V(H2O)=50g∶15ml∶35ml，在80～85℃腐蚀，均获得了较为理想的效果.制作的1MPa多晶硅压力传感器的输出线性度、迟滞和重复性......
2. 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC 介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器 ，它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 0 gn，线性度为 10 -4 量级...
3. 《基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器》PDF+DOC 针对深沟槽内结构制作困难的问题，基于单晶硅各向异性腐蚀原理，推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀深度之间的解析表达式，通过工艺实验确定了单晶硅{311}面与{100}面的腐蚀速率比；采用适合于三明治微加速度传感器硅芯片制作的无掩模腐蚀成型工艺流程，实现了深沟槽内悬臂......
4. 《硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用》PDF+DOC 提出一种新型硅无掩模腐蚀技术。利用设计一块掩模和进行一次常规有掩模腐蚀之后的无掩模腐蚀工艺，可制作多层次的硅微机械结构，结构层数原则上不受限制，各层次的位置和相应深度方便可控。基于该技术，给出了制作的几例多层力学量传感器结构结果。该技术将可望广泛应用于半导体微机械传感器和执行器中。...
5. 《脉动压力传感器研制》PDF+DOC 测量脉动压力用压阻式压力传感器，通过有限元应力分析求得灵敏度高、线性又好的双岛硅膜片结构；采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。...
6. 《带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺》PDF+DOC 对带质量块的悬臂梁加速度传感器的特殊工艺：硅梁及形状控制的各向异性腐蚀，梁厚的精确控制、双面光刻、有孔硅片匀胶等技术进行了研究，为批量生产克服了工艺障碍。...
7. 《各向异性腐蚀在PH传感器中的应用》PDF+DOC 在微机械加工中，硅的各向异性腐蚀是关键技术之一.特别在当今微机械加工向微型化、多功能化及智能化发展之际，更需利用硅的各向异性腐蚀来制备三维结构.对于单晶硅材料，主要腐蚀剂如表1所示。...
8. 《用微硅层析法制作的微型硅传感器》PDF+DOC 主要介绍1种用硅的微机械加工技术研制的硅电容式传感器，采用电容层析法(ECT)技术可检测尺寸为50μm左右的微小粒子。其中的主要技术有硅材料的微机械加工技术，特厚光刻胶的匀胶曝光技术，微集成电镀技术。...
9. 《基于力电转换传感器的轮廓描迹装置》PDF+DOC 基于力电转换传感器的轮廓描迹装置，属长度测量领域。本实用新型公开了基于力电转换传感器的轮廓描迹装置，包括力传感器，用于对力传感器探头施力的弹性物，弹性物的受力与其形变量有一一对应的关系，其特征是：顶板第一端铰接，顶板第二端用于对弹性物施加弹力，顶板处于不同位置时，顶板对弹性物施力不同。本实用新型结构......
10. 《基于磁阻传感器的无线车辆检测器的设计》PDF+DOC 考虑到公路环境的特殊性，应用各向异性磁阻传感器并结合ZigBee技术，设计了一款无线车辆检测器。对车辆检测器的硬件系统总体结构进行了详细介绍，并通过实验对车辆检测器的输出特性进行研究，验证了方案的可行性。实验表明，该车辆检测器能够对车辆的有无和方向做出判断，并对车辆进行分类。...