作者：李炳乾,朱长纯,刘君华 单位：信息部电子46所;天津市电子学会 出版：《半导体杂志》1998年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTZ804.0000 DOC编号：DOCBDTZ804.0009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文设计了一种新型硅基ＭＥＭＳ集成光强调制型光波导加速度传感器，在同一硅片上集成了分束器、悬臂梁、质量块、光波导、光探测器等元件，解决了光纤传感器向微型化发展时遇到的装配困难及长期稳定性差等问题，讨论了利用现有工艺在硅基片上实现ＭＥＭＳ集成光波导加速度传感器的可行性。

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