作者:汪学方,张鸿海,王生,徐龙 单位:武汉理工大学 出版:《武汉理工大学学报(信息与管理工程版)》2000年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWHQC2000010080 DOC编号:DOCWHQC2000010089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于微力传感的扫描近场声显微镜》PDF+DOC2000年第04期 王生,张鸿海,汪学方,徐龙 《一种新型微力传感器设计》PDF+DOC2015年第03期 章晓明,刘晓东,班炯,陈靖宇,顾小稳 《具有微力感知的眼科手术器械的设计与实现》PDF+DOC2020年第17期 邬如靖,韩少峰,广晨汉,贺昌岩,马科,杨洋 《用于微摩擦测试的微力传感器及其制作》PDF+DOC2004年第03期 黎海文,吴一辉,李也凡,张平,王淑荣,贾宏光 《蟋蟀垂直攀登的微力测试及其动力学研究》PDF+DOC2010年第02期 周群,袁贵彬,何斌,岳继光 《基于探针形式的三维硅微力传感器》PDF+DOC2009年第04期 林启敬,赵玉龙,蒋庄德,王鑫垚,王伟忠 《用于微装配的三维微力传感器的研究》PDF+DOC2007年第03期 陈海初,张蕊华 《声表面波微力传感器的研究》PDF+DOC2014年第07期 武少南,卢文科 《PVDF微力传感器的设计》PDF+DOC2014年第10期 刘廷,吴晓军,赵河明 《谐振式力传感器对其晶振频率稳定度的要求》PDF+DOC2003年第11期 路峻岭,田文杰,张伟,张福学
  • 描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM)。其原理是利用谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,振动特性发生变化,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息。在分析了SNAM的检测机理基础上,设计了SNAM系统,测量时垂直分辨率可达到纳米级

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