作者：吴宪平,胡美凤,罗桂隆,龚凤英 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1998年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS804.0000 DOC编号：DOCYBJS804.0009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《单面多层结构硅微压传感器的研制》PDF+DOC1997年第04期 任建军,杨恒,李昕欣,沈绍群,鲍敏杭 《微压压力传感器的结构改进》PDF+DOC1995年第05期 鲍敏杭,沈绍群,陈宏,马青华 《微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器》PDF+DOC1994年第02期 鲍敏杭,沈绍群,普琦 《微机械学发展概况及其在航天传感器中的应用》PDF+DOC1994年第03期 汪宝宁 《提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)》PDF+DOC2002年第11期 郑丹,宋朝辉,张鲲 《硅微微压传感器研究进展》PDF+DOC2006年第09期 夏文明,丁建宁,杨继昌 《用于气体传感的电容式微机械超声阵列设计》PDF+DOC2018年第06期 卓文军,吴丽翔,陈曦,王俊力,王高峰 《封面说明》PDF+DOC2019年第12期 《微光机电系统国内外研究进展》PDF+DOC2000年第08期 梁静秋 《梁-膜结构微压传感器研制》PDF+DOC2010年第02期 杨梅,于炜,张莹,史煜

    • 本文报道一种量程为１ｋＰａ的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了高灵敏度微压传感器的非线性内补偿和强过载保护以及高共振频率，分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性为０．１％ＦＳ，其过载保护能力已超过５００倍满程压力，共振频率为９ｋＨｚ。

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