作者：牛文成,徐春林,张福海,祁增芳,张玉英,赖斌斌 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1998年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1998010010 DOC编号：DOCCGJS1998010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 用In_2O_3作敏感膜研制出小型固态高感度(sensibilty)(10&#215；10~(-9)~1&#215；10~(-6)O_3传感器.研究了膜厚、气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响，发现AET(AdsorptionEffect Transistor)型O_3传感器具有灵敏的响应特性.并分析了薄膜表面的化学吸附及其对薄膜电导的影响，以及AET作用对O_3非常敏感的物理机制。

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