作者：陶文中,高明光,唐松林,吴紫峰,田雷,李娟 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1998年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ803.0100 DOC编号：DOCCGQJ803.0109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍一种以多晶硅薄膜为敏感材料的压力传感器。该传感器利用了双岛结构膜片的应力集中效应，灵敏度得到提高，且具有良好的线性度和过载能力。

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