《石英传感器刻蚀工艺研究》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究》PDF+DOC 增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声，而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因，当深宽比较大时，不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此，本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器，通过电磁驱动器，传感器的静态测试电容可以大幅增加，在梳齿电容上刻蚀阻......
2. 《文摘选辑》PDF+DOC 声表面波器件作为高Q器件用于高频范围越来起引人注目。本文概述了SAW和假弹性表面波的性能，叙述了在表面波器件设计中采用加权、反射和干涉技术，并列举一些SAW传感器的应用实例。...
3. 《微传感器的关键是微平版刻蚀》PDF+DOC 最近老的金属平版刻蚀工艺有了改进，以适于制造计算机的微晶片及根据新的要求制造很小的化学传感器。这项技术是新的，异于常规的微晶片制造方法。它是将集成电路刻在硅基片上，在金属膜上形成，绝缘及半导体部分。根据不同的图样用“抗蚀剂”屏蔽，“抗蚀剂”通常是用有机聚合物，底膜对辐射是敏感的。经过辐射后，某些晶格......
4. 《应用于MEMS气密性封装测试的微型湿度传感器的设计与制作》PDF+DOC MEMS器件的封装一直是MEMS技术的难点之一 ，在封装设计中 ，如何测试封装的有效性就显得尤为重要。本文叙述了一种基于MEMS技术的微型湿度传感器的原理、设计以及工艺流程。在其上进行气密性封装 ，则可通过对封装内的湿度测量来判断该封装的气密性能。在设计中 ，充分考虑了尺寸、工艺以及灵敏度等各方面要......
5. 《刻蚀机温度控制系统设计初探》PDF+DOC 刻蚀机的温度控制系统是一个集制冷、加热、检测、控制为一体的温度循环控制系统，其利用温控的循环液体控制工作平台的温度，是一个典型的循环温度控制系统。本文从原理、制冷控制系统和压力损失等方面对该控制系统的设计进行探讨，为相关系统的设计工作提供参考。...
6. 《日立开发出CMOS兼容的MEMS传感器工艺》PDF+DOC 日立中心研究实验室(东京)的研究人员宣布，他们已经开发出了与CMOS兼容的MEMS加工技术，可以在CMOS芯片的互连层上制造MEMS传感器。...
7. 《Lam Research的先进深硅刻蚀技术》PDF+DOC 在一个人们期望即时信息的社会，等上几秒钟，时间似乎变得很长。随着万亿传感器的视野和物联网(I OT)互联网的不断发展，对于“智能传感器”出现了明显的需求：即对大量数据进行分类，区分有用信息和噪音，节省珍贵的几秒钟。随着智能传感器的发展，微机电系统(MEMS)、电源装置以及先进封装蚀刻应用需要...
8. 《新颖CMOS图像传感器刻蚀工艺进展》PDF+DOC 称为背照式(BSI)CIS的新颖CIS比传统的前照明(FI)CIS对光更敏感，且噪声小。BSI刻蚀中的关键参数是侧壁剖面角、微沟槽形成和硅损宏观负载效应。本文中，采用Applied CenturaAdvantEdgeTM MesaTM刻蚀室开发BSI CSI刻蚀工艺。调整C4F8流量可实现侧壁角的......