《微机械角速度传感器的研制》PDF+DOC
作者:邵良杰,罗晓章
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1999年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS908.0010
DOC编号:DOCYBJS908.0019
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文中介绍一种用于测量运动物体角速度的微机械角速度传感器,包括其结构组成、工作机理、运动方程、制作工艺以及测试结果。由于其尺寸的大幅度减小,使它在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。
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