作者：才海男,马秀兰,李鹏生,浦昭邦,周兆英 单位：哈尔滨工业大学 出版：《哈尔滨工业大学学报》1997年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHEBX706.0150 DOC编号：DOCHEBX706.0159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚 《微系统集成技术研究的动向》PDF+DOC1998年第04期 钟先信,李建蜀,肖沙里,徐涛,朱维安,缪秀娥 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《微米／纳米技术及其应用》PDF+DOC1996年第03期 赵玉珍,段宝岩 《微型机械及其发展》PDF+DOC1993年第04期 周兆英,叶雄英,李勇,江小宁 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《微机电系统的进展分析与研究》PDF+DOC2002年第01期 刘晓斌 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《MEMS概况及发展趋势》PDF+DOC2002年第01期 张威,张大成,王阳元

    • 介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。

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