作者：王艳,张淑仪,杨跃涛,水修基 单位：中国科学院声学研究所 出版：《声学学报》2016年第05期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXIBA2016050050 DOC编号：DOCXIBA2016050059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 结合RF磁控溅射和水热合成法制备ZnO纳米结构薄膜，利用XRD及SEM分析ZnO薄膜的晶体结构和形貌、XPS分析薄膜的化学组分。结果表明，在适当的条件下，所制备的ZnO薄膜为具有良好c轴取向的纳米棒状结构，且ZnO纳米棒薄膜表面吸附的氧原子及晶格的氧空位缺陷增多。利用所制备ZnO纳米棒薄膜的上述特性，将其作为气体敏感材料。分别沉积于128&#176；YX-LiNbO_3和36&#176；YX-LiTaO_3基片，研制多层结构的声表面波(Rayleigh波和Love波)氢气传感器，并进行室温条件下氢气的实时传感检测，结果显示所研制的Love波传感器具有更高的灵敏度，性能更优化。

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