《用于传感器和光电子学的微机电系统》PDF+DOC

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2. 《MEMS发展应用现状》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)技术有小尺寸、多样化、微电子等特点，它将信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到了新的高度。MEMS做成的惯性器件(微加速度计和微型陀螺)以及MEMS在小型卫星、海陆空作战平台及信息传递、航空航天、生物医疗和医学等方面有广泛应用。...
3. 《MEMS陀螺主要性能指标研究》PDF+DOC 以ADI公司的微角速度单轴陀螺仪ADXRSXXX为例，对MEMS陀螺的主要性能指标进行了研究，并进行了标定实验，计算了主要性能指标。通过数据拟合方法得到了该陀螺的校准曲线，经过分析计算，该陀螺的精度较高，在姿态测试系统中有一定的应用前景。...
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5. 《MEMS纳米量热传感器基底结构与材料仿真》PDF+DOC 通过对微机电系统(MEMS)纳米量热传感器原理与热损耗机理分析，借助有限元分析(FEA)软件研究不同结构、材料种类的基底对纳米量热传感器热分布、功耗的影响，并通过对纳米量热信号的仿真，验证了器件的可行性，进而依据仿真结果对纳米量热传感器的性能进行优化。研究可以为其他不同类型的量热器件的仿真与设计提供......
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10. 《基于多输出频率传感器的卫星姿态确定方法研究》PDF+DOC 卫星多种姿态敏感器数据更新频率不同，如陀螺的输出频率远高于星敏感器。常用的姿态估计步长较大，当卫星角速度较大时，估计精度下降。论文设计了多步长姿态确定方案，在星敏感器输出之间，利用陀螺数据积分进行姿态估计，在星敏感器输出测量值后更新姿态，并校正陀螺漂移。数学仿真表明该方案能够获得高精度、高更新频率的......