作者：李国平,陈子辰 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2001年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2001060000 DOC编号：DOCMINI2001060009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 概述了微机电系统 ( MEMS)的定义和特征 ，从理论基础、技术基础和工程应用三方面 ，阐述了微机电系统的研究内容 ，简要介绍了 MEMS基础技术及 MEMS器件的研究现状

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