作者：蒲逸然,谢建良,王昕 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019050030 DOC编号：DOCCGQJ2019050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过对微机电系统(MEMS)纳米量热传感器原理与热损耗机理分析，借助有限元分析(FEA)软件研究不同结构、材料种类的基底对纳米量热传感器热分布、功耗的影响，并通过对纳米量热信号的仿真，验证了器件的可行性，进而依据仿真结果对纳米量热传感器的性能进行优化。研究可以为其他不同类型的量热器件的仿真与设计提供参考依据。

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